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气动高真空KF法兰蝶阀 气动规格参数
| 适用范围 | 0.1x106~1.3x10-4 |
|---|---|
| 阀门漏率 | 5.0x10-9Pa.m3/S |
| 适用温度 | -20~+150℃ |
| 气源压力 | 4~6bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 应用领域 | 半导体、光伏真空、高纯度气体 |
| 适用介质 | 真空、高纯度气体 |
| 连接方式 | KF法兰 |
| 连接标准 | DIN 28403 |
外形尺寸
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| Size | C1 | C2 | C3 | C4 | C5 | C6 | C7 | C8 | C9 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KF40 | 155 | 57 | 73 | 64 | 158 | 42.2 | 55 | 3 | ATD52 |
| KFSO | 155 | 57 | 73 | 64 | 158 | 52.2 | 75 | 3 | ATD52 |
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