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高真空活套法兰球阀 气动规格参数
| 适用范围 | 0.6x10 6 ~1.3x10 -4 |
|---|---|
| 阀门漏率 | 5.0x10 -9 Pa.m 3 /S |
| 适用温度 | -20~+150℃ |
| 气源压力 | 4~6bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 应用领域 | 半导体 |
| 适用介质 | 真空、非腐蚀性气体 |
| 连接方式 | 活套法兰 |
| 连接标准 | GB/T6070-2007 |
外形尺寸
尺寸图待上传。
| DN | C1 | C2 | C3 | C4 | C5 |
|---|---|---|---|---|---|
| 10 | 114 | 55 | 40 | 17 | 4-6.6 |
| 15 | 170 | 60 | 45 | 22 | 4-6.6 |
| 20 | 195 | 65 | 50 | 24 | 4-6.6 |
| 25 | 114 | 70 | 55 | 29 | 4-6.6 |
| 32 | 170 | 90 | 70 | 36 | 4-9 |
| 40 | 195 | 100 | 80 | 44 | 4-9 |
| 50 | 114 | 110 | 90 | 55 | 4-9 |
| 65 | 170 | 130 | 110 | 68 | 8-9 |
| 80 | 195 | 145 | 125 | 85 | 8-9 |
| 100 | 195 | 165 | 145 | 105 | 8-9 |
| 125 | 195 | 200 | 175 | 130 | 8-11 |
| 150 | 195 | 225 | 200 | 156 | 8-11 |
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