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气动高真空KF法兰球阀 气动规格参数
| 适用范围 | 0.1x10 6 ~1.3x10 -4 |
|---|---|
| 阀门漏率 | 5.0x10 -9 Pa.m 3 /S |
| 适用温度 | -20~+150℃ |
| 气源压力 | 4~6bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 应用领域 | 半导体、光伏 |
| 适用介质 | 真空、高纯度气体 |
| 连接方式 | KF法兰 |
| 连接标准 | DIN 28403 |
外形尺寸
尺寸图待上传。
| Size | C1 | C2 | C3 | C4 | C5 | C6 | C7 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KF1G | 90 | 30 | 17.2 | 159 | 73 | 73 | TD52 |
| KF25 | 115 | 40 | 26.2 | 172 | 85 | 90 | TD63 |
| KF40 | 140 | 55 | 41.2 | 215 | 105 | 110 | TD83 |
| KF5O | 159 | 75 | 52.2 | 265 | 110 | 120 | TD92 |
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