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气动高真空CF法兰球阀 气动规格参数
| 适用范围 | 0.6x10 6 ~1.3x10 -4 |
|---|---|
| 阀门漏率 | 5.0x10 -9 Pa.m 3 /S |
| 适用温度 | -20~+150°C |
| 气源压力 | 4~6bar |
| 安装方向 | 任意 |
| 应用领域 | 半导体、光伏 |
| 适用介质 | 真空、高纯度气体 |
| 连接方式 | CF法兰 |
| 连接标准 | GB/T 6071-2003 |
外形尺寸
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| Size | C1 | C2 | C3 | C4 | C5 | C6 | C7 | C8 | C9 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 9 | D | 01 | n-d | 11 | 12 | H2 | |||
| CF35 | 159 | 37 | 70 | 587 | 6-066 | 185 | 95 | 100 | TD75 |
| CF63 | 203 | 63 | 114 | 922 | 8-084 | 215 | 105 | 110 | TD83 |
| CF80 | 233 | 76 | 130 | 110 | 16-08.4 | 270 | 125 | 142 | TDIO5 |
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